有源型静电轴承

2014-09-20 19:34 作者:管理员17 来源:未知 浏览: 字号:

摘要:2.2有源型静电轴承 有源型静电轴承有较高的轴承刚度和响应速度, 可以使用直流电源。这种轴承的几何结构与无源型静 电轴承完全相同.只是它带有伺服控制电路。图 13.11-22是有源型6极球形静电轴承的示意图和一对 电极的伺服控制电路方框图。 有源型静电轴承常

2.2有源型静电轴承
    有源型静电轴承有较高的轴承刚度和响应速度,
可以使用直流电源。这种轴承的几何结构与无源型静
电轴承完全相同.只是它带有伺服控制电路。图
13.11-22是有源型6极球形静电轴承的示意图和一对
电极的伺服控制电路方框图。
    有源型静电轴承常用的位置传感器有光电传感
器、高频电桥等。伺服控制系统通常包括输出电路、
位置敏感电路、补偿网络、放大器、振荡器、调制器
和解调器等。
六面电极球形静电轴承

(责任编辑:laugh521521)
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