有源型静电轴承

2014-09-20 19:34 作者:管理员17 来源:未知浏览: 次字号: 大中小

摘要:2.2有源型静电轴承有源型静电轴承有较高的轴承刚度和响应速度，可以使用直流电源。这种轴承的几何结构与无源型静电轴承完全相同.只是它带有伺服控制电路。图 13.11-22是有源型6极球形静电轴承的示意图和一对电极的伺服控制电路方框图。有源型静电轴承常

2.2有源型静电轴承

有源型静电轴承有较高的轴承刚度和响应速度，

可以使用直流电源。这种轴承的几何结构与无源型静

电轴承完全相同.只是它带有伺服控制电路。图

13.11-22是有源型6极球形静电轴承的示意图和一对

电极的伺服控制电路方框图。

有源型静电轴承常用的位置传感器有光电传感

器、高频电桥等。伺服控制系统通常包括输出电路、

位置敏感电路、补偿网络、放大器、振荡器、调制器

和解调器等。

(责任编辑：laugh521521)

文章分享：

打印推荐本文